تخمین معادله رگرسیون نیروی بحرانی در فاز نخست دستکاری دوبعدی

نوع مقاله : مقاله پژوهشی

نویسندگان

1 دانشیار مهندسی ساخت و تولید، دانشگاه اراک، اراک، ایران

2 دانشجوی کارشناسی، گروه مهندسی ساخت و تولید، دانشگاه اراک، اراک، ایران

چکیده

دستکاری نانومقیاس با استفاده از میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) امکان کنترل و تحلیل دقیق نانوذرات را در مقیاس نانو فراهم می‌سازد. این پژوهش بر فاز نخست فرآیند دستکاری تمرکز دارد که در آن نیروی بحرانی و زمان بحرانی، نقش تعیین‌کننده‌ای در موقعیت‌دهی و جهت‌دهی دقیق نانوذرات ایفا می‌کنند. برای این منظور، چارچوب طراحی آزمایش‌ها (DOE) با ۲۷ آزمایش انجام‌شده به‌کار گرفته شد تا اثر پارامترهای هندسی تیرک AFM بر نیروی بحرانی دستکاری بررسی شود. داده‌های به‌دست‌آمده با استفاده از تحلیل واریانس (ANOVA) و روش سطح پاسخ (RSM) مورد ارزیابی قرار گرفت و بر اساس آن یک مدل رگرسیونی تجربی توسعه یافت. مدل حاصل از دقت بالایی با ضریب تعیین ۹۴٫۱۶٪ برخوردار بود و توان پیش‌بینی مناسبی از خود نشان داد. نتایج نشان داد که ضخامت تیرک، تأثیرگذارترین پارامتر بر نیروی بحرانی است. یافته‌های این پژوهش می‌تواند در بهینه‌سازی فرآیندهای دستکاری نانوذرات مبتنی بر AFM در کاربردهای نانوفناوری مورد استفاده قرار گیرد.

کلیدواژه‌ها

موضوعات