دانشگاه تبریز مهندسی مکانیک دانشگاه تبریز 2228-5148 50 1 2020 03 20 Investigation on the Effect of Workpiece Dimension in Nanometric Machining of Monocrystalline Silicon by Molecular Dynamics Simulation بررسی تاثیر ابعاد قطعه کار بر ماشینکاری نانومتری سیلیکون تک کریستال با استفاده از روش دینامیک مولکولی 139 146 9835 10.22034/jmeut.2020.9835 FA سید نادر عاملی کلخوران دانشجوی دکتری، گروه ساخت و تولید، دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی، تهران، ایران مهرداد وحدتی دانشیار، گروه ساخت و تولید، دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی، تهران، ایران جیوانگ یان استاد، دانشکده مهندسی مکانیک، دانشگاه کِیو، یوکوهاما، ژاپن Journal Article 2018 02 21 فرآیند ماشینکاری نانومتری، روشی فوق پیشرفته جهت ساخت قطعات با دقت ابعادی چندمیکرومتر و صافی سطح نانومتری می‌باشد. علیرغم روش‌های ماشینکاری سنتی، در این روش می‌توان قطعات ترد مانند سیلیکون را نیز به خوبی ماشینکاری نمود. با توجه به انجام این فرآیند در مقیاس نانومتری، رفتار ماده متفاوت از حالت حجیم آن خواهد بود. از این روی، ابعاد قطعه‌کار نیز بر خروجی و کیفیت نهایی قطعات ماشینکاری شده تاثیرگذار می‌باشد. در این تحقیق، با استفاده از روش شبیه‌سازی دینامیک مولکولی و ثابت در نظر گرفتن تمامی پارامترهای ماشینکاری و تحلیلی، تاثیر پهنا و ابعاد قطعه‌کار بر کیفیت ماشینکاری بررسی گردیده است. نتایج مشخص نمود که کوچک شدن بیش از حد ابعاد قطعه‌کار، سبب ایجاد یک شوک اولیه در قطعه می‌گردد. این موضوع سبب افزایش براده‌های منقطع و کاهش کیفیت سطح می‌گردد. همچنین نتایج نشان داد با اینکه پیشروی ابزار سبب افزایش دمای قطعه‌کار می‌گردد، اما در قطعات با طول کمتر از 21 نانومتر، این شتاب بسیار بیشتر می‌باشد. علاوه بر این، مشخص گردید که افزایش ابعاد قطعه‌کار، سبب کاهش نوسانات نیرو و همچنین نیروی کل ماشینکاری می‌گردد. https://tumechj.tabrizu.ac.ir/article_9835_ab8ad585c6cb29940380888af1821cc6.pdf